基太克電子報 【高科技廠房微振動量測】
30 Oct 2015
高科技廠房微振動量測
高科技廠房因為配置各種曝光機、蝕刻機等精密機器，對於環境振動特別敏感，因此需要對樓板微振動進行量測評估。這種量測一般是採用高感度加速規，測量其振動速度的1/3 octave頻譜，並根據Generic Vibration Criteria 將振動值分為VC-A ~ VC-G七個等級。
本公司的可攜式頻譜儀impaq Elite已經將VC標準內建於1/3 Octave 頻譜量測模組裡面，配合高感度加速規WR 731A的使用，在現場進行即時量測時，可以立即判讀樓板的微振動等級，並可從PC端的程式快速列印報表。