基太克電子報 【奈米級厚度量測技術】

15 Dec 2015

奈米級厚度量測技術

因應科技產品的快速發展,效能不斷提升,半導體晶圓片、硬碟片以及液晶螢幕上的鍍膜厚度的精密量測也日趨重要,現今鍍膜厚度常需控制在數微米(10^-6m)以下,為了確保厚度的一致性,精密厚度量測技術日趨重要。

美國LION PRECISION 公司利用高精度電容式位移計發展出一套厚度量測技術,方法如下:

  • 放置一已知厚度之標準件於二電容式位移計間
  • 調整二位移計位置,使其接近量測範圍之中心位置
  • 設定二位移計電壓合計為零
  • 更換測試件並安置於二位移計間

利用標準件及測試件所得之電壓合計之差異,比較標準件厚度,計算出測試件之厚度


建議設備

  • 電容式位移計二組Lion Precision
  • 放大器二組Lion CPL190
  • 數位顯示器Lion MM190

工具機高效率加工與及智能化監測技術研討會-台中12/24

本公司將於2015/12/24 在台中世界貿易中心舉辦工具機高效率加工與智能化監測技術研討會。研討會將介紹工業4.0與網宇實體(CPS)技術,及工具機的高效率加工技術以因應節能與環保的全球趨勢,並介紹工具機動態特性與加工效率的重要關聯性,與工具機監測技術在物聯網上的應用。有興趣參加的客戶請洽本公司報名。